特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，是隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的，也是我司核心發展方向之一。
近年來，隨著下游應用領域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增，據不完全統計，現有單元特種氣體達 260 余種，特種氣體已成為高科技應用領域不可缺少的基本原材料。特種氣體從應用領域上分為：電子氣體、高純氣體、 標準氣體。
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名稱 |
主要品種 |
發展情況 |
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電子氣體 |
1、氫化物：超純氨、硅烷、磷烷、砷烷、氫化銻 2、氟化物：六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅 3、碳氟化合物：四氟化碳、六氟乙烷等 |
電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等工業生產不可缺少的基礎性材料，廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
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高純氣體 |
N2、 O2、 H2、 He、 Ar、CO2 等，純度 5N（99.999%） |
高純氣體大多用于超大規模集成電路及分離器件、光電子等高科技領域。
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標準氣體 |
1、單元標準氣體 2、多元標準氣體：由兩種或兩種以上組分氣配制而成 |
1、標準氣體是計量的基準物質，準確、均勻、穩定可靠是重要特征，具有建立測量的溯源性，保證測量結果準確一致，以及促進測量技術和質量監督工作發展的作用。 2、標準氣基本滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求。 |